参数分析系统配置
可設定的功率大小:
从200V 到3kV
从1A 到100A
宽度动态范围:
从uV 到3kV
从fA 到100A
电容-电压测量方式:
±400V多频C-V
200V斜坡速率C-V
20V极低频（VLF）C-V
直流或脉冲I-V至50µs
高电压和高电流通道具有24bit精密模数转换器和18bit高速（1µs）数字转换器
测试管理软件包括用于实时控制的跟踪模式和用于参数提取的参数模式
