Ceramic ESC
L1 Repair 表面修复
表面粗糙度改善/平面度改善/凸点再生
L2 Repair 接合层修复
金属基座与陶瓷盘再接合/接合层再充填
L3 Repair 陶瓷盘更换
陶瓷盘制造/金属基座与陶瓷盘再接合
L4 Repair 陶瓷盘与Heater更换
Heater制造/金属基座与陶瓷盘、Heater再接合
L0 New Product
全新品制造
