S530系列参数测试系统

目前有三种不同的标准S530参数测试系统配置可供选择,能够满足不同参数测试应用环境的需求。S530基本系统是业界性价比最高的全功能参数测试仪;它能够提供具有标称测量灵敏度的、高达1A电流或200V电压的强大信号源,非常适合于很多通用工艺监测应用。S530低电流系统采用了超低漏流开关矩阵和灵敏测量技术,具有亚皮安级测量分辨率。这种系统版本为探针卡提供了全面的低电流保护,非常适合于亚微米MOS硅工艺的特征分析。S530高压系统能够提供高达1000V的电压源,满足汽车电子和电源管理测试应用所需的击穿与漏流测试的需求。